In de semiconductorindustrie, micro-elektronica en hoogwaardige cleanroomtechnologie worden uitzonderlijk hoge eisen gesteld aan luchtzuiverheid. Zelfs een minimale lekkage in een HEPA- of ULPA-filter kan gevolgen hebben voor gevoelige productieprocessen. Daarom combineert TripleAir Technology hoogwaardige filterproductie met geavanceerde testtechnologie.
Met een CNC-gestuurde Automatic Scan Unit beschikt TripleAir Technology over de mogelijkheid om hoogwaardige HEPA- en ULPA-filters automatisch te scannen, waaronder de filterklassen H14, H14+, U15, U16 en U17.
Hiermee kunnen ook filters worden getest waarvoor volgens internationale normen een individuele scantest verplicht is.
Waarom is filterintegriteit zo belangrijk?
Een hoog afscheidingsrendement betekent niet automatisch dat een filter volledig vrij is van lokale lekkages.
Kleine afwijkingen in het filtermedium, de verlijming of de verbinding tussen het filterpakket en het frame kunnen de filterintegriteit beïnvloeden.
Om dergelijke afwijkingen vast te stellen, worden HEPA- en ULPA-filters onder gecontroleerde omstandigheden getest.
Afhankelijk van de filterklasse en de gestelde eisen kunnen hiervoor verschillende testmethoden worden toegepast.
H14: betrouwbare integriteitscontrole met de Oil Thread Test
Voor HEPA-filters in filterklasse H14 (ISO 45 H) schrijft NEN-EN-ISO 29463 geen verplichte automatische scantest voor.
Voor het controleren van lokale lekkages mag de Oil Thread Test worden toegepast, een beproefde visuele testmethode die is beschreven in NEN-EN-ISO 29463-4.
Bij deze test wordt het filter onder gecontroleerde omstandigheden blootgesteld aan een geschikt olieaerosol.
De controle vindt handmatig plaats in een verduisterde testruimte, waarbij het filteroppervlak met een krachtige lamp wordt belicht.
Wanneer ergens in het filter een lekkage aanwezig is, kan het doorgelaten olieaerosol zichtbaar worden als een karakteristieke oliedraad (Oil Thread) in de luchtstroom.
Deze methode maakt het mogelijk om lokale lekkages visueel vast te stellen zonder dat een automatische deeltjesmeting over het volledige filteroppervlak noodzakelijk is.
Voor H14-filters is deze testmethode toegestaan als alternatief voor de scanmethode, mits aan de voorgeschreven testvoorwaarden wordt voldaan.
De integrale filterefficiëntie moet daarnaast afzonderlijk voldoen aan de eisen voor classificatie.
H14+ tot U17: automatische scanning is verplicht
Bij hogere filterklassen worden strengere eisen gesteld aan zowel het integrale afscheidingsrendement als de lokale filterintegriteit.
De aanduiding H14+ wordt door TripleAir gebruikt voor filters met het prestatieniveau ISO 50 U volgens NEN-EN-ISO 29463.
Deze klasse bevindt zich tussen H14 (ISO 45 H) en U15 (ISO 55 U) en vereist een minimaal integraal afscheidingsrendement van 99,999% bij MPPS.
Anders dan bij H14 is voor de classificatie als ISO 50 U een individuele scantest verplicht.
Dit geldt eveneens voor de hogere ULPA-filterklassen U15, U16 en U17.
Bij deze klassen volstaat een visuele Oil Thread Test niet.
De filterintegriteit moet aantoonbaar worden vastgesteld met de voorgeschreven scanmethode.
CNC automatic scan unit: nauwkeurigheid en reproduceerbaarheid
Om aan deze hoge testvereisten te kunnen voldoen, maakt TripleAir Technology gebruik van CNC-gestuurde automatische scantechnologie.
Tijdens het testproces beweegt een meetsonde volgens een vooraf geprogrammeerd patroon over het filteroppervlak.
Het filter wordt onder gecontroleerde omstandigheden blootgesteld aan een geschikt testaerosol. Vervolgens wordt de lokale deeltjesdoorlaat gemeten en worden eventuele lekkages gedetecteerd.
De CNC-besturing zorgt voor een nauwkeurig beheerst scanpatroon en een constante, reproduceerbare beweging van de meetsonde.
Dit biedt belangrijke voordelen ten opzichte van handmatige uitvoering:
- Nauwkeurig gecontroleerde scanbewegingen
- Reproduceerbare testomstandigheden
- Detectie en lokalisatie van lokale lekkages
- Digitale registratie van meetresultaten
- Ondersteuning van kwaliteitsdocumentatie en traceerbaarheid
In combinatie met de voorgeschreven rendementsmetingen vormt dit een betrouwbare basis voor de beoordeling en classificatie van individuele filterelementen.
Testen volgens internationaal erkende normen
De classificatie en testmethoden voor hoogwaardige EPA-, HEPA- en ULPA-filters zijn vastgelegd in onder andere NEN-EN 1822 en NEN-EN-ISO 29463.
De ISO 29463-normenreeks maakt daarbij onderscheid tussen verschillende filtergroepen en de toegestane testmethoden.
Voor H14-filters zijn alternatieve lektestmethoden toegestaan, waaronder de Oil Thread Test.
Voor de ISO U-filterklassen, vanaf ISO 50 U, is de scanmethode voorgeschreven en zijn alternatieve lektestmethoden niet toegestaan voor classificatie.
Met de CNC Automatic Scan Unit kan TripleAir Technology deze hoogwaardige filterklassen controleren volgens de daarvoor geldende scanvereisten.
Essentieel voor semiconductor- en cleanroomtoepassingen
Binnen de semiconductor- en micro-elektronica-industrie is nauwkeurige beheersing van luchtgedragen deeltjes van cruciaal belang.
Gevoelige productieprocessen, zoals waferproductie, lithografie en andere geavanceerde productiestappen, vereisen een uiterst gecontroleerde productieomgeving.
Ook bij Filter Fan Units (FFU’s), farmaceutische productieomgevingen, laboratoria en andere kritische cleanroomtoepassingen speelt aantoonbare filterintegriteit een belangrijke rol.
Juist in deze sectoren is het essentieel dat filterprestaties niet alleen worden gespecificeerd, maar ook aantoonbaar worden gecontroleerd.
TripleAir Technology: kwaliteit die meetbaar is
De combinatie van hoogwaardige filterproductie, conventionele lektestmethoden en geavanceerde CNC-gestuurde scantechnologie onderstreept de focus van TripleAir Technology op precisie en kwaliteitsborging.
Waar voor H14-filters een Oil Thread Test kan volstaan als integriteitscontrole, biedt de CNC Automatic Scan Unit de vereiste testmogelijkheden voor classificatie in de hogere ISO U-filterklassen.
Zo stemmen wij onze testmethoden af op de technische specificaties, de geldende normen en de eisen van de toepassing.
Want wanneer zelfs de kleinste afwijking grote gevolgen kan hebben, is kwaliteit geen aanname, maar een meetbaar resultaat.
TripleAir Technology – Engineered for Clean Air.
Wilt u meer weten over onze HEPA- en ULPA-filters, CNC-gestuurde scantesten of de mogelijkheden voor H14+, U15, U16 en U17?
Neem contact op met TripleAir Technology.